400V 1P 6KW PFA Nhà ở bán dẫn Inline Chemical Heater cho Siconnex Etch Hood

Tổng quan

Máy sưởi trực tuyến PFA được thiết kế cho axit hydrofluoric (HF), kali hydroxide (KOH) và hóa chất khác tương thích với PFA.

Những máy sưởi PFA này đẩy các vật liệu tinh khiết cao được chấp nhận rộng rãi đến mức cực đoan trong khi tối đa hóa hiệu suất và độ tin cậy.

Chúng tôi đã một lần nữa đưa việc làm nóng chất lỏng tinh khiết cao lên một mức độ hiệu suất và độ tin cậy mới.

Chúng tôi đã một lần nữa đưa việc làm nóng chất lỏng tinh khiết cao lên một mức độ hiệu suất và độ tin cậy mới.Làm nóng chất lỏng bằng các vật liệu tinh khiết cao trong môi trường khắc nghiệt đòi hỏi kỹ năng và kiến thức đặc biệt mà chỉ có thể đạt được từ kinh nghiệmTrong hơn 40 năm, các kỹ sư của chúng tôi đã tinh chỉnh và cải thiện bồn tắm thạch anh nóng và hiểu được nhu cầu quan trọng của ngành bán dẫn và các ngành công nghiệp liên quan.Tổng số kiến thức đó đã được kết hợp vào máy sưởi trực tuyến PFA để tạo ra các sản phẩm không chỉ thực hiện, nhưng đơn giản hóa việc lắp đặt và bảo trì cũng. ví dụ như bằng cách đăng ký ISO 9001 lâu năm của chúng tôi,sự cống hiến của chúng tôi để kiểm soát quy trình sản xuất đảm bảo rằng khách hàng của chúng tôi nhận được các sản phẩm chất lượng cao đồng nhất trong một thời gianChúng tôi cung cấp một loạt các mô hình tiêu chuẩn và tùy chỉnh để cho phép tích hợp dễ dàng vào hầu hết các ứng dụng.

• Heavy gauge preformed Inconel phần tử có thể chịu đựng các điều kiện căng thẳng cao mà không bị phá vỡ
• Power modulator giám sát nhiệt độ yếu tố sưởi ấm và ngăn chặn sự tích tụ nhiệt bên trong nhà
• Lớp kín ngăn hóa chất tấn công các thành phần bên trong và cung cấp sự ngăn chặn thứ cấp
• Dải phát hiện rò rỉ bên trong (yêu cầu màn hình bên ngoài) cho phép phát hiện sớm rò rỉ hóa học
• Tất cả các dây chuyền được bảo vệ bằng ống dẫn Teflon để ngăn chặn tấn công hóa học
• Thiết kế sưởi ấm gián tiếp, không có các yếu tố sưởi ấm chìm
• Không cần N2 hoặc thanh lọc khí

Đặc điểm

• Không có niêm phong O-Ring
• Tất cả các bề mặt ướt là PFA tinh khiết cao
• Bộ chứa PTFE để chứa hai lần
• Mật độ watt tối đa cho hiệu suất
• Xây dựng trọng lượng nhẹ
• Dấu chân nhỏ nhờ thiết kế độc đáo
• Không cần bảo trì
• Đường dẫn chất lỏng PFA, tương thích hóa học rộng
• Khả năng nhiệt độ cao 200°C+

 

Thông số kỹ thuật

Máy sưởi	Máy sưởi hóa học trực tuyến PFA
Công suất	1.5-12 kW
Hóa học quy trình	axit hydrofluoric pha loãng (DHF), axit hydrofluoric đệm (BHF), Chất xơ đệm (BOE), Các hóa chất kiềm (TMAH, KOH, NAOH), Các dung môi fluor hóa, Hydrofluoric Acid, Glycol, và nhiều hơn nữa.
Nhiệt độ hoạt động tối đa	180°C (công ty tư vấn) cho nhiệt độ cao hơn)
Áp suất tối đa	40 psi ở 180°C
Điện áp	200-400VAC, một hoặc 3 giai đoạn phụ thuộc vào mô hình

 

 

Ứng dụng

Sự lắng đọng điện hóa học

Chất lắng đọng điện hóa là một quá trình chi phí hiệu quả sử dụng oxy hóa và giảm để dính kim loại vào bề mặt bằng điện.Các sản phẩm dư thừa cung cấp hiệu suất đầu ra nguồn điện đầy đủ, hiệu quả cao, đầu ra DC tốc độ cao, kết nối, độ tin cậy và chứng nhận ETL.

 

Sự lắng đọng điện hóa học Sản phẩm ((1)
Dòng B ✅ CÁNG THUỐC NHẤT Kim loại nhỏ trên máy sưởi bên. Tốt cho các ứng dụng trong phòng thí nghiệm và bể nhỏ. Nhiệt lên đến 149 ° C. Một pha. 500-1500 watt, 120-240 volt.	3HS SERIES Ống Bên cạnh, 3 yếu tố, ống sưởi 3 giai đoạn 3 giai đoạn 3000-10500 watt, 208-600 volt	MOTS SINGLE DERATED Tăng mật độ watt thấp, kim loại trên lò sưởi bên. 500-6000 watt, 120-600 volt
Các dòng HXF Mật độ watt thấp, máy sưởi xoắn ốc. Fluoropolymer (PTFE) mang 304 nguyên tố không gỉ trơ với hầu hết các dung dịch. 500-6000 watt, 120-600 Volt.	FLS SERIES FLANGE HEATER Máy sưởi bằng kim loại, kích thước 3′′, 5′′ và 6′′. 3000-72000 watt, 208-600 volt.	Vòng U COIL Vòng chìm kim loại hình U để sưởi ấm hoặc làm mát hóa học đòi hỏi thời gian phục hồi tối thiểu.