Khô wafer tinh khiết cao và làm sạch các bộ phận bán dẫn Stainless Steel N2 Heater

Tổng quan

Để sấy khô wafer tinh khiết cao và làm sạch các bộ phận, Máy sưởi N2 thép không gỉ phù hợp với nitơ, CDA (Không khí khô sạch) hoặc các khí trơ tinh khiết cao khác.Được xây dựng bằng vỏ thép không gỉ 316L sơn điệnCác tính năng bổ sung bao gồm thiết kế nhỏ gọn để giảm lượng nước thải và một yếu tố sưởi ấm có thể thay thế.Nó cũng có sẵn trong một loạt các mô hình từ 375 watt đến 31000 watt.

Sự an toàn tích hợp

Có một số tính năng an toàn được tích hợp vào máy sưởi N2 không gỉ. Ví dụ, máy sưởi có giới hạn cao và nhiệt cặp quy trình để điều chỉnh và duy trì nhiệt độ.Hơn nữa, cũng có một cảm biến cắt nhiệt để ngăn chặn quá nóng, và một dây điện đất.có một tùy chọn bổ sung cho máy sưởi để trang bị bộ điều khiển nhiệt độ dựa trên vi xử lý trong khung chuyển đổi bên ngoài được xếp hạng NEMA.

Điểm nổi bật

Máy sưởi N2 không gỉ có nhiều kích thước khác nhau, từ 375 đến 3.000 watt (tùy thuộc vào điện áp của khách hàng) và từ 120 VAC đến 240 VAC, 1 pha (tùy thuộc vào công suất).Một số đơn vị cũng có thể được sử dụng trong loạt cho công suất cao hơn và dung lượng dòng chảyNhiệt độ môi trường là 200oC (392oF), với áp suất 60 PSIG ở 200oC.